193 nm Glan-Taylor-Polarisator nutzt doppelbrechende α-BBO-Kristalle, die durch einen Luftspalt getrennt sind, um Absorptionsprobleme durch Klebematerialien im tiefen UV-Bereich zu vermeiden. Einschichtige MgF₂-Antireflexbeschichtungen gewährleisten eine hohe Transmission bei 193 nm bei gleichzeitig hervorragender Extinktion. Dank der hohen Laserzerstörschwelle eignet es sich ideal für die hochpräzise Polarisationskontrolle in Anwendungen wie der ArF-Excimerlaserlithografie und der Tief-UV-Laserbearbeitung.
Merkmale:
Luftspalt
In der Nähe von Brewster's Angle Cutting
Hohe Polarisationsreinheit
Transmission im tiefen Ultraviolett
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