193 nm Niedrige Ordnung Wellenplatte, ein Polarisationsgerät für tiefes Ultraviolett, passt den Polarisationszustand des einfallenden Lichts präzise an. Es wird in DUV-Systemen wie der Lithografie und der Laserforschung eingesetzt und besteht aus strahlungsresistenten Materialien für 193 nm, um Stabilität und Genauigkeit zu gewährleisten.
Merkmale: Dicke: 0,1-0,5 mm Hohe Schadensschwelle |
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Artikelnr. :
WPLProduktherkunft :
FuZhouSpezifikationen:
Material:
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Quarz
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Durchmessertoleranz:
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+0,0, -0,1 mm
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Wellenfrontverzerrung:
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λ/8 bei 632,8 nm
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Verzögerungstoleranz:
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λ/50
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Parallelität:
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<1 Bogensekunde
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Oberflächenqualität:
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20/10
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Freie Blende:
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>90 %
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Beschichtung:
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S1&S2: R<0,2 % @ Wellenlänge
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Standardwellenlänge:
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193,368 nm
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193 nm Produkte:
Halbwellenplatten P/N#
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Viertelwellenplatten P/N#
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Durchmesser (mm)
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WPL-210-193
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WPL-410-193
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10,0
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WPL-212-193
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WPL-412-193
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12.7
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WPL-215-193
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WPL-415-193
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15,0
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WPL-220-193
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WPL-420-193
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20,0
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WPL-225-193
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WPL-425-193
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25,4
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WPL-230-193
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WPL-430-193
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30,0
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WPL-235-193
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WPL-435-193
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35,0
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WPL-250-193
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WPL-450-193
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50,0
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